フォトリソグラフィーマルチスペクトルフィルターは、リソグラフィとコーティングの複合プロセスによって正確に生成され、複数のスペクトルチャネルが単一の基板上の異なる空間位置に統合されます。各チャネルは、優れたスペクトル特性に基づいて高精度で空間的に整列しています。
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